新闻资讯
NEWS INFORMATIONSMP131单晶硅压力变送器:工业精密测量的“纳米级守护者”
2025-09-10 在浙江舟山群岛的深海钻井平台上,直径200mm的SMP131单晶硅压力变送器正以0.01%FS的精度实时监测井下压力,其核心传感器在150℃高温、100MPa高压环境下稳定运行超5年。这种突破性表现源于单晶硅材料压阻效应与MEMS(微机电系统)技术的深度融合,使其成为工业自动化领域精度最高的压力测量设备。一、纳米级传感:从晶格变形到电信号的精密转化SMP131单晶硅压力变送器的核心是采用光刻工艺制造的微米级硅膜片。当压力作用于膜片时,单晶硅晶格发生各向异性变形,导致扩散在膜片...